・・・複合試料処理装置　　　　　　　　

・・・高真空基板加熱装置　　　　　　　　　　　

・・・除膜装置　　　　　　　　　　　　　　

・・・低放出ガス処理材料　UHV加熱装置　

・・・均熱帯1000mm 熱処理装置 　　

・・・小型真空熱処理装置 　　　　　　　　　　

・・・UHV高温引張　　　　　　　　　　　　　　

・・・溶解炉用添加機構　　　　　　　　　　　　

・・・FZ装置 　　　　　　　　　　　　　　　　　　

・・・試料特型移動機構　　　　　　　　　　　

・・・ガスケット寿命テスト装置　　　　　　　

・・・装置（縦）⑥